【技術分野】

【0001】

【背景技術】

【0002】

【先行技術文献】

【発明の概要】

しかしながら、従来の産業用機械装置では、可動部検出部が故障等することによって可動部が動作完了位置に変位した状態を検出することができなくなった場合には、装置の運転を停止せざるを得ず、生産性が低下するという問題点があった。 そこで本発明は、可動部が動作完了位置に変位した状態が検出されなくなった場合であっても運転を継続できる産業用機械装置を提供することを目的とする。

本発明の産業用機械装置は、アクチュエータによって変位する可動部と、前記アクチュエータによって前記可動部が動作完了位置に変位したことを検出する可動部検出部と、前記アクチュエータを制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記可動部検出部が前記可動部を検出することによって前記アクチュエータの動作完了を判断する第１の運転モードと、前記可動部検出部による検出結果を無視して若しくは参照することなく前記アクチュエータの動作完了を判断する第２の運転モードのいずれかで制御を行う。

本発明によれば、可動部が動作完了位置に変位した状態が検出されなくなった場合であっても運転を継続できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施の形態における部品実装装置の要部斜視図

【図2】本発明の一実施の形態における部品実装装置の要部側面図

【図3】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるトレイフィーダの斜視図

【図4】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるトレイフィーダが備えるマガジンをこれに収納されるパレットおよびトレイとともに示す斜視図

【図5】本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるトレイフィーダのパレット支持テーブルの構成を示す側面図

【図6】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるトレイフィーダの動作を説明する側面図

【図7】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるトレイフィーダの動作を説明する側面図

【図8】本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える搭載ヘッドの正面図

【図9】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるノズル交換台の動作を説明する斜視図

【図10】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるノズル交換台の動作を説明する平面図

【図11】本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるノズル交換台の斜視図

【図12】本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統を示すブロック図

【図13】本発明の一実施の形態における部品実装装置が第１の運転モードで実行する場合のパレットセット動作の流れを示すフローチャート

【図14】本発明の一実施の形態における部品実装装置が第１の運転モードで実行する場合のパレット収納動作の流れを示すフローチャート

【図15】本発明の一実施の形態における部品実装装置が第１の運転モードで実行する場合のシャッタユニットの開動作の流れを示すフローチャート

【図16】本発明の一実施の形態における部品実装装置が第１の運転モードで実行する場合のシャッタユニットの閉動作の流れを示すフローチャート

【図17】本発明の一実施の形態における部品実装装置が第２の運転モードで実行する場合のパレットセット動作の流れを示すフローチャート

【図18】本発明の一実施の形態における部品実装装置が第２の運転モードで実行する場合のパレット収納動作の流れを示すフローチャート

【図19】本発明の一実施の形態における部品実装装置が第２の運転モードで実行する場合のシャッタユニットの開動作の流れを示すフローチャート

【図20】本発明の一実施の形態における部品実装装置が第２の運転モードで実行する場合のシャッタユニットの閉動作の流れを示すフローチャート

【発明を実施するための形態】

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態としての部品実装装置１を示している。部品実装装置１は基板ＫＢに部品ＢＨを搭載することで実装基板を生産する装置であり、産業用機械装置の一例を示すものである。ここでは説明の便宜上、基板ＫＢの搬送方向（作業者ＯＰから見た左右方向）をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平方向（作業者ＯＰから見た前後方向）をＹ軸方向とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。

図１において、部品実装装置１は、基台１１、基板搬送コンベア１２、トレイフィーダ１３、ヘッド移動機構１４、搭載ヘッド１５、ノズル交換台１６、タッチパネル１７等を備えている。基板搬送コンベア１２は基台１１上をＸ軸方向に延びており、部品実装装置１の外部から送られてきた基板ＫＢを受け取ってＸ軸方向に搬送して所定の作業位置に位置決めする。

トレイフィーダ１３は、設定された部品供給位置１３Ｋ（図２）に部品ＢＨを供給する装置である。トレイフィーダ１３は、図２および図３（ａ），（ｂ）に示すように、基台１１に連結される台車２１上にマガジン２２とパレット移動機構２３を備えている。マガジン２２内には複数のパレット収納部２２Ｈが形成されており、これら複数のパレット収納部２２Ｈのそれぞれには、パレット３１が水平方向に挿抜自在に収納されている。各パレット３１にはトレイ３２が保持されており、トレイ３２には複数の部品ＢＨが整列状態に並べられている（図４（ａ），（ｂ））。

図２および図３（ａ），（ｂ）において、パレット移動機構２３は、パレット支持テーブル４１とパレット支持テーブル４１を昇降させるパレット昇降機構４２を有している。パレット昇降機構４２は台車２１から上方に延びて設けられた左右の垂直支柱４２ａと左右の垂直支柱４２ａの間をＺ軸方向に延びたテーブル移動用ボール螺子４２ｂを有している。テーブル移動用ボール螺子４２ｂにはブロックナット４２ｃが螺合しており、パレット支持テーブル４１はブロックナット４２ｃに結合されている。

図２および図３（ａ），（ｂ）において、台車２１上には昇降モータ４２ｄが設けられており、テーブル移動用ボール螺子４２ｂは昇降モータ４２ｄによって回転される。昇降モータ４２ｄがテーブル移動用ボール螺子４２ｂを回転させると、ブロックナット４２ｃがテーブル移動用ボール螺子４２ｂ上を上下方向に移動し、これによりパレット支持テーブル４１が台車２１に対して昇降する（図２および図３（ｂ）中に示す矢印Ａ）。従って、昇降モータ４２ｄによるテーブル移動用ボール螺子４２ｂの回転制御（回転方向と回転数の制御）を行うことで、パレット支持テーブル４１を所望の高さに位置させることが可能である。昇降モータ４２ｄには、エンコーダ付きのモータやサーボモータ等が使用される。

図２において、部品供給位置１３Ｋは、最上段に位置するパレット収納部２２Ｈの上方の位置に設定されている。部品供給位置１３Ｋは、複数のパレット収納部２２Ｈのいずれかから引き出したパレット３１内の部品ＢＨを部品供給位置１３Ｋに供給するときの目標位置であり、パレット３１を昇降させるアクチュエータとしての昇降モータ４２ｄにとっての動作完了位置に相当する。

図２において、台車２１にはテーブル検出センサ４３が設けられている。テーブル検出センサ４３は例えば光センサから成り、部品供給位置１３Ｋに位置した状態のパレット支持テーブル４１を検出する。このように本実施の形態において、テーブル検出センサ４３は、アクチュエータ（昇降モータ４２ｄ）によって可動部（パレット支持テーブル４１）が動作完了位置に変位したことを検出する可動部検出部となっている。

図３（ｂ）において、パレット支持テーブル４１の上面には、Ｘ軸方向に延びた係止ロッド４４が設けられている。係止ロッド４４はパレット支持テーブル４１上でＹ軸方向に移動自在となっている（図３（ｂ）中に示す矢印Ｂ）。

図５に示すように、パレット支持テーブル４１内には、パレット操作モータ４５と、パレット操作モータ４５によって駆動されるロッド移動機構４６が設けられている。ロッド移動機構４６は、パレット操作モータ４５の上方にＹ軸方向に延びて設けられたロッド移動用ボール螺子４６ａ、ロッド移動用ボール螺子４６ａに螺合したナットブロック４６ｂ、ナットブロック４６ｂに取り付けられて係止ロッド４４を支持するロッド支持部材４６ｃを備えている。

また、ロッド移動機構４６は、パレット操作モータ４５の駆動軸４５Ｊに取り付けられた駆動プーリ４６ｄ、ロッド移動用ボール螺子４６ａに連結された従動プーリ４６ｅおよび駆動プーリ４６ｄと従動プーリ４６ｅに掛け渡されたベルト部材４６ｆを備えている。パレット操作モータ４５が駆動軸４５Ｊを回転させるとその回転力が駆動プーリ４６ｄ、ベルト部材４６ｆおよび従動プーリ４６ｅを経てロッド移動用ボール螺子４６ａに伝えられ、ロッド移動用ボール螺子４６ａはパレット操作モータ４５の駆動軸４５Ｊの回転方向に応じた方向に、駆動軸４５Ｊの回転量に応じた回転量で回転する。

ナットブロック４６ｂはロッド移動用ボール螺子４６ａに貫通されているとともに、ロッド移動用ボール螺子４６ａの軸線（Ｙ軸）回りの回動が規制された状態となっている。このためナットブロック４６ｂは、ロッド移動用ボール螺子４６ａが回転すると、ロッド移動用ボール螺子４６ａの回転方向に応じて、パレット支持テーブル４１上を、パレット支持テーブル４１の後側（作業者ＯＰから離れる側）或いは前側（作業者ＯＰに近づく側）へ、その姿勢を変えることなく移動する。そして、このナットブロック４６ｂの後側あるいは前側への移動により、ロッド支持部材４６ｃに支持された係止ロッド４４は、ナットブロック４６ｂと一体となって、パレット支持テーブル４１上を後側或いは前側へ移動する。パレット操作モータ４５の駆動軸４５Ｊの回転量は、パレット操作モータ４５が備えるエンコーダによって検出されるようになっている。

係止ロッド４４は、上記のようにしてパレット支持テーブル４１上をＹ軸方向に移動することで、パレット収納部２２Ｈ内のパレット３１を引き出してパレット支持テーブル４１に載せるパレット引出し動作と、パレット支持テーブル４１に載せたパレット３１をパレット収納部２２Ｈに収納するパレット収納動作とを行う。パレット引出し動作は、これから引き出そうとするパレット３１が収納されているパレット収納部２２Ｈの高さにパレット支持テーブル４１を移動させて行い、パレット収納動作は、これからパレット３１を収納させようとするパレット収納部２２Ｈの高さにパレット支持テーブル４１を移動させて行う。

図５において、パレット支持テーブル４１に内には、引出し完了センサ４７と収納完了センサ４８が設けられている。引出し完了センサ４７は、パレット収納部２２Ｈから引き出されたパレット３１がパレット支持テーブル４１上に完全に引き出されたときの係止ロッド４４の位置（引出し完了位置）に係止ロッド４４が位置した状態を検出（直接的にはナットブロック４６ｂを検出）する。収納完了センサ４８は、パレット支持テーブル４１上のパレット３１がパレット収納部２２Ｈ内に完全に収納されたときの係止ロッド４４の位置（収納完了位置）に係止ロッド４４が位置した状態を検出（直接的にはナットブロック４６ｂを検出）する。

パレット引出し動作では、係止ロッド４４が引出し完了位置に位置した状態を引出し完了センサ４７が検出することで、パレット支持テーブル４１上にパレット３１が完全に引き出された状態が検知される。一方、パレット収納動作では、係止ロッド４４が収納完了位置に位置した状態を収納完了センサ４８が検出することで、パレット３１がパレット収納部２２Ｈに完全に収納された状態が検知される。このように本実施の形態において、引出し完了センサ４７および収納完了センサ４８は、パレット支持テーブル４１上でパレット３１を移動させる係止ロッド４４が動作完了位置（引出し完了位置または収納完了位置）に変位したことを検出する可動部検出部となっている。

トレイフィーダ１３は、パレット収納部２２Ｈからパレット３１を引き出して部品供給位置１３Ｋに供給する場合には、昇降モータ４２ｄを作動させてパレット支持テーブル４１を昇降させ、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに移動させる。そして、係止ロッド４４をパレット支持テーブル４１の後側（作業者ＯＰから離れる側）に移動させ、係止ロッド４４を収納完了位置に位置させる。これにより係止ロッド４４の両端部がパレット３１の２つの係止部３１ａに係止したら（図４（ａ）→図４（ｂ））、係止ロッド４４をパレット支持テーブル４１の前側（作業者ＯＰに近づく側）に移動させ、パレット３１をパレット収納部２２Ｈから引き出して（図６（ａ）中に示す矢印Ｂ１）、パレット３１をパレット支持テーブル４１に載せる。パレット３１がパレット支持テーブル４１に載ったら昇降モータ４２ｄを作動させ、パレット支持テーブル４１を部品供給位置１３Ｋの高さまで上昇させる（図６（ｂ）。図中に示す矢印Ａ１）。

トレイフィーダ１３は、部品供給位置１３Ｋに位置させたパレット３１をマガジン２２内に収納する（戻す）場合には、昇降モータ４２ｄを作動させてパレット支持テーブル４１を下降させ（図７（ａ）中に示す矢印Ａ２）、パレット３１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さの位置に位置させる（図７（ａ））。そして、係止ロッド４４を後側（作業者ＯＰから離れる側）に移動させることによって、パレット支持テーブル４１上のパレット３１をマガジン２２側に押し出し（図７（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、パレット収納部２２Ｈに収納する（図７（ｂ））。

図１において、ヘッド移動機構１４は、Ｙ軸方向に延びた固定ビーム１４ａ、Ｘ軸方向に延びた可動ビーム１４ｂおよび可動ビーム１４ｂ上に設けられた移動プレート１４ｃを備えている。可動ビーム１４ｂは固定ビーム１４ａに沿ってＹ軸方向に移動し、移動プレート１４ｃは可動ビーム１４ｂに沿ってＸ軸方向に移動する。搭載ヘッド１５は移動プレート１４ｃに取り付けられており、可動ビーム１４ｂがＹ軸方向に移動し、移動プレート１４ｃがＸ軸方向に移動することで、基台１１の上方をＸＹ面内（水平面内）方向に移動する（図２中に示す矢印Ｃ）。

図８において、搭載ヘッド１５は下方に延びた複数のノズル取付け軸５１を備えている。各ノズル取付け軸５１の下端にはノズル５２が着脱自在に取り付けられている。ノズル５２はノズル取付け軸５１の下端に着脱される着脱部５２ａと、着脱部５２ａから下方に延びた管部５２ｂと、着脱部５２ａと管部５２ｂの間に設けられた円盤状の鍔部５２ｃとを有している。ノズル取付け軸５１の内部には負圧供給路が形成されており、その負圧供給路内に負圧が供給されると、ノズル５２の管部５２ｂの下端に真空吸着力が発生する。

搭載ヘッド１５は、ノズル取付け軸５１を昇降させるノズル取付け軸昇降部１５ａを備えている（図８）。ノズル取付け軸昇降部１５ａはノズル取付け軸５１ごとに設けられている。ノズル取付け軸昇降部１５ａによってノズル取付け軸５１を昇降させることにより、ノズル取付け軸５１に装着されたノズル５２で部品を搭載する作業や、ノズル取付け軸５１に装着されるノズル５２の交換作業を行う。

図１において、ノズル交換台１６は基台１１上に設けられている。ノズル交換台１６は、図９（ａ），（ｂ）および図１０（ａ），（ｂ）に示すように、交換用の複数のノズル５２を保持することができる。

図９（ａ），（ｂ）、図１０（ａ），（ｂ）および図１１において、ノズル交換台１６は、ベース部６１、シャッタユニット６２、切替えシリンダ６３および切替え位置センサ６４を備えている。ベース部６１は基台１１上に取り付けられており、マトリクス状に配置された複数のノズル挿入孔６１Ｈを備えている。

図１１において、各ノズル挿入孔６１Ｈは、上面に開口した円孔から成る。各ノズル挿入孔６１Ｈの内径は、ノズル５２の管部５２ｂの外径よりも大きく、かつ、鍔部５２ｃの外径よりも小さい寸法を有している。

図９（ａ），（ｂ）、図１０（ａ），（ｂ）および図１１において、シャッタユニット６２は、矩形平板状の部材から成るシャッタ板６２Ｔを上部に有している。シャッタユニット６２はその全体が、ベース部６１に対してＸ軸方向に相対移動自在な構成となっている。

図１１において、シャッタ板６２Ｔには、Ｘ軸方向に延びた複数のシャッタ溝６２Ｍが形成されている。各シャッタ溝６２Ｍの溝幅Ｗは、ノズル５２の着脱部５２ａの外径よりも大きく、かつ、ノズル５２の鍔部５２ｃの外径よりも小さい寸法を有している。

図１１において、各シャッタ溝６２Ｍは、そのシャッタ溝６２Ｍの溝幅Ｗよりも大径の複数の逃がし孔６２Ａを有している。各シャッタ溝６２Ｍの逃がし孔６２Ａの数は、ベース部６１のノズル挿入孔６１ＨがＸ軸方向に並んだ数（ここでは８つ）と一致し、隣接する逃がし孔６２Ａ同士の間隔は、隣接するノズル挿入孔６１Ｈの間隔と一致している。各逃がし孔６２Ａの内径Ｄは、ノズル５２の鍔部５２ｃの外径よりも大きい寸法を有している。

シャッタユニット６２は、閉位置（図９（ａ）および図１０（ａ））と開位置（図９（ｂ）および図１０（ｂ））と間で移動可能である。ここで、「閉位置」とは、逃がし孔６２Ａの中心とノズル挿入孔６１Ｈの中心とが平面視において一致せず、ノズル挿入孔６１Ｈの一部がシャッタ板６２Ｔの一部によって覆われる位置である。シャッタユニット６２が閉位置に位置した状態では、ノズル挿入孔６１Ｈへのノズル５２の挿入が不能であるとともに、ノズル挿入孔６１Ｈに挿入されたノズル５２をノズル挿入孔６１Ｈから上方へ引き抜くことも不能である。

一方、「開位置」とは、逃がし孔６２Ａの中心とノズル挿入孔６１Ｈの中心とが平面視において一致することによって、ノズル挿入孔６１Ｈの全部がシャッタ板６２Ｔによって覆われない位置である。シャッタユニット６２が開位置に位置した状態では、ノズル挿入孔６１Ｈへのノズル５２の挿入が可能であるとともに、ノズル挿入孔６１Ｈに挿入されたノズル５２を上方へ引き抜くことも可能である。

図９（ａ），（ｂ）、図１０（ａ），（ｂ）および図１１において、切替えシリンダ６３は、ベース部６１の側面に取り付けられている。切替えシリンダ６３のピストンロッド６３ａはＸ軸方向に延びており、その先端部には上方に延びた操作部材６３ｂが設けられている。操作部材６３ｂは、シャッタユニット６２の側方に設けられた被係合部６２Ｋと係合している。

シャッタユニット６２が閉位置に位置している状態で、切替えシリンダ６３がピストンロッド６３ａを後退方向に作動させると、操作部材６３ｂが被係合部６２Ｋを切替えシリンダ６３側に引き寄せる。これによりシャッタユニット６２は閉位置から開位置に移動する（図９（ａ）→図９（ｂ）および図１０（ａ）→図１０（ｂ））。一方、シャッタユニット６２が開位置に位置している状態で、切替えシリンダ６３がピストンロッド６３ａを前進方向に作動させると、シャッタユニット６２は閉位置に復帰する（図９（ｂ）→図９（ａ）および図１０（ｂ）→図１０（ａ））。

図９（ａ），（ｂ）、図１０（ａ），（ｂ）および図１１において、切替え位置センサ６４はベース部６１に設けられている。切替え位置センサ６４は、検査光をＹ軸方向に投光する投光部６４ａと、投光部６４ａが投光した検査光を受光し得る位置に配置された受光部６４ｂを備えている。

図９（ａ），（ｂ）、および図１１において、シャッタ板６２Ｔの下面側には、遮蔽部材６５が下方に延びて設けられている。遮蔽部材６５は、シャッタユニット６２が閉位置に位置した状態では検査光を遮り（図９（ａ）および図１０（ａ））、シャッタユニット６２が開位置に位置した状態では検査光を遮らない（図９（ｂ）および図１０（ｂ））位置に位置する。このため切替え位置センサ６４は、受光部６４ｂが検査光を受光しないことをもってシャッタユニット６２が閉位置に位置している状態を検知し、受光部６４ｂが検査光を受光することをもってシャッタユニット６２が開位置に位置している状態を検出する。

本実施の形態において、シャッタユニット６２における閉位置と開位置はそれぞれノズル交換台１６の可動部であるシャッタユニット６２の動作完了位置に相当し、切替えシリンダ６３は、シャッタユニット６２を動作完了位置に位置させるように動作するアクチュエータとなっている。そして、切替え位置センサ６４は、アクチュエータ（切替えシリンダ６３）によって可動部（シャッタユニット６２）が動作完了位置（閉位置および開位置）に変位（位置）したことを検出する可動部検出部となっている。

図１において、タッチパネル１７は部品実装装置１における作業者ＯＰから操作し得る位置に設けられている。タッチパネル１７は部品実装装置１に対して作業者ＯＰが入力操作を行う入力部および部品実装装置１から作業者ＯＰに対して所要の通知が行われる通知部として機能する。

図１において部品実装装置１が備える制御装置７０は、図１２に示すように、少なくとも、基板搬送コンベア１２、トレイフィーダ１３、ヘッド移動機構１４、搭載ヘッド１５、ノズル交換台１６およびタッチパネル１７の各動作を制御する。具体的には、制御装置７０は、基板搬送コンベア１２の動作を制御して基板ＫＢの搬送と位置決めを行い、トレイフィーダ１３を制御して、部品供給位置１３Ｋへの部品ＢＨの供給を行う。また制御装置７０は、ヘッド移動機構１４の動作を制御して搭載ヘッド１５を移動させ、搭載ヘッド１５の動作を制御してノズル５２に部品ＢＨを吸着させる。また制御装置７０は、ノズル交換台１６の動作を制御してシャッタユニット６２を開閉させ、タッチパネル１７の動作を制御して所要の情報を作業者ＯＰに通知する。

本実施の形態における部品実装装置１では、部品実装装置１が備える複数のモータやシリンダ等のアクチュエータを制御装置７０が作動させることによってそのアクチュエータに対応する可動部が変位し、その可動部の変位（移動、回転、揺動等）によって所要の作業がなされる。この際、各アクチュエータは、対応する可動部が目標とする動作完了位置に変位するように動作するが、アクチュエータの動作完了は、可動部が可動部検出部によって検出されることで判断される。

図１２において、制御装置７０はセンサ監視部７１と、運転モード切替え部７２とを備えている。センサ監視部７１は、トレイフィーダ１３における可動部検出部であるテーブル検出センサ４３、引出し完了センサ４７および収納完了センサ４８と、ノズル交換台１６のシャッタユニット６２における可動部検出部である切替え位置センサ６４のそれぞれについての出力を常時監視しており、これらセンサの動作に異常が発見された場合には、その旨を、タッチパネル１７を介して作業者ＯＰに通知する。

運転モード切替え部７２は、作業者ＯＰが操作するタッチパネル１７からの入力に基づいて運転モードを設定する機能を有する。本実施の形態では、作業者ＯＰは、タッチパネル１７から運転モード切替え部７２に対して所要の操作を行うことによって、トレイフィーダ１３とノズル交換台１６それぞれの運転モードを、第１の運転モード（通常運転モード）または第２の運転モード（縮退運転モード）に設定できるようになっている。第２の運転モードは、センサの動作に異常が発見された場合に対応した運転モードである。第１の運転モードと第２の運転モードについては後述する。

部品実装装置１が基板ＫＢに部品ＢＨを搭載する場合には、先ず、外部から送られてきた基板ＫＢを基板搬送コンベア１２により受け取って作業位置に位置決めする。基板ＫＢを作業位置に位置決めしたら、トレイフィーダ１３が作動して、供給しようとする部品ＢＨが収納されたトレイ３２（パレット３１）を部品供給位置１３Ｋに位置させる。

トレイフィーダ１３が部品供給位置１３Ｋにトレイ３２（パレット３１）を位置させたら、制御装置７０は、ヘッド移動機構１４を作動させて搭載ヘッド１５をトレイフィーダ１３の上方に位置させる。そして、搭載ヘッド１５はノズル取付け軸５１を下降させるとともに、ノズル５２の下端に真空吸着力を発生させることによって、ノズル５２の下端に部品ＢＨを吸着させる。ノズル５２の下端に部品ＢＨを吸着させたら、搭載ヘッド１５が基板ＫＢの上方に移動し、ノズル取付け軸５１を下降させることによって、部品ＢＨを基板ＫＢ上の目標搭載部位に搭載する。

部品実装装置１は、このような部品搭載動作を繰り返し行う部品搭載作業を実行することによって実装基板を生産するが、部品搭載作業を実行する過程において、吸着しようとする部品ＢＨの大きさや形状等に応じてノズル５２の交換が必要となる場合がある。この場合、制御装置７０は、搭載ヘッド１５をノズル交換台１６の上方に移動させ、切替えシリンダ６３を作動させてシャッタユニット６２を開位置と閉位置との間で位置切替えをしながら、ノズル取付け軸５１を昇降させることによって、ノズル５２の交換作業を実行する。

具体的には、制御装置７０は、ノズル取付け軸５１からノズル５２を取り外す場合には、搭載ヘッド１５をノズル交換台１６の上方に移動させたうえで、シャッタユニット６２を開位置から開位置に切り替える。そして、ノズル取付け軸５１の上下中心軸をノズル交換台１６のノズル挿入孔６１Ｈの上下中心軸に一致させたうえで、ノズル取付け軸５１を下降させる。このノズル取付け軸５１の下降時には、ノズル５２の鍔部５２ｃはシャッタユニット６２のシャッタ板６２Ｔの逃がし孔６２Ａを通過するので、ノズル５２の管部５２ｂはノズル挿入孔６１Ｈに挿入される。

ノズル５２の管部５２ｂがノズル挿入孔６１Ｈに挿入されたら、シャッタユニット６２を閉位置に切り替えて、ノズル取付け軸５１を上方に引き上げる。このときノズル５２の鍔部５２ｃはシャッタ板６２Ｔの下方に位置しており、シャッタ板６２Ｔと干渉して上方への移動が妨げられる。このため、ノズル５２はノズル交換台１６に残留し、ノズル取付け軸５１からノズル５２が取り外される。

一方、ノズル取付け軸５１にノズル５２を取り付ける場合には、制御装置７０は先ず、搭載ヘッド１５をノズル交換台１６の上方に移動させる。そして、ノズル取付け軸５１の上下中心軸をノズル５２の上下中心軸に一致させた状態で、ノズル取付け軸５１を下降させる。これによりノズル取り付け軸５１の下端にノズル５２の着脱部５２ａが取り付けられたら、制御装置７０は、シャッタユニット６２を開位置に位置させたうえで、ノズル取付け軸５１を上方へ引き上げる。このとき、シャッタ板６２Ｔの下方に位置していたノズル５２の鍔部５２ｃはシャッタ板６２Ｔの逃がし孔６２Ａを上方に通過するので、ノズル５２はノズル取付け軸５１とともに引き上げられ、ノズル５２はノズル取付け軸５１に取り付けられた状態となる。

制御装置７０は、上記のようにしてノズル取付け軸５１へのノズル５２の着脱を行う際には、シャッタユニット６２を閉位置或いは開位置に位置させる。シャッタユニット６２を開位置側に移動させたときには、シャッタユニット６２がその動作完了位置である開位置に位置した状態となっているかどうかを切替え位置センサ６４からの出力によって検知し、シャッタユニット６２を閉位置側に移動させたときには、シャッタユニット６２がその動作完了位置である閉位置に位置した状態となっているかどうかを切替え位置センサ６４からの出力によって検知するようになっている。

次に、第１の運転モード（通常運転モード）と第２の運転モード（縮退運転モード）について説明する。第１の運転モードは、可動検出部が可動部を検出することによって（可動部検出部から出力される検出情報に基づいて）アクチュエータの動作完了を判断する運転モードであり、第２の運転モードは、可動部検出部による検出結果を無視して（若しくは参照することなく）アクチュエータの動作完了を判断する運転モードである。これら第１の運転モードと第２の運転モードは、前述したように、作業者ＯＰがタッチパネル１７を操作して設定および切替えすることができる。

先ず、図１３のフローチャートに基づいて、部品ＢＨを収納したトレイ３２を保持するパレット３１を部品供給位置１３Ｋに位置させる動作（パレットセット動作）を第１の運転モードで実行する場合のトレイフィーダ１３の動作手順を説明する。

制御装置７０は、トレイフィーダ１３のパレットセット動作を第１の運転モードで行う場合には、先ず、昇降モータ４２ｄを制御し、テーブル移動用ボール螺子４２ｂを作動させることによって、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに移動させる（ステップＳＴ１）。このとき制御装置７０は、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに位置させるのに必要な回転量だけ、昇降モータ４２ｄを回転させる。

制御装置７０は、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに移動させたら、係止ロッド４４をパレット収納部２２Ｈ内のパレット３１に係止させる（ステップＳＴ２）。制御装置７０はこの動作を、パレット操作モータ４５を制御し、係止ロッド４４をパレット支持テーブル４１の後側に移動させることによって行う。このとき制御装置７０は、係止ロッド４４を収納完了位置に位置させるのに必要な規定の回転量だけ、パレット操作モータ４５を回転させる。

制御装置７０は、係止ロッド４４をパレット収納部２２Ｈ内のパレット３１に係止させたら、パレット３１をパレット支持テーブル４１上に引き出す（ステップＳＴ３。図６（ａ）中に示す矢印Ｂ１）。制御装置７０はこの動作を、パレット操作モータ４５を制御して係止ロッド４４をパレット支持テーブル４１の前側に移動させることによって行う。このとき制御装置７０は、係止ロッド４４を引出し完了位置に位置させるのに必要な規定の回転量だけ、パレット操作モータ４５を回転させる。

制御装置７０は、ステップＳＴ３で、パレット操作モータ４５を規定の回転量だけ回転させたら、係止ロッド４４が動作完了位置である引出し完了位置に位置しているかどうかの判断を行う（ステップＳＴ４）。この判断は、係止ロッド４４が動作完了位置（引出し完了位置）に位置した状態が引出し完了センサ４７によって検出されているか否かに基づいて行う。

制御装置７０は、ステップＳＴ４において、係止ロッド４４が動作完了位置（引出し完了位置）に位置していると判断した場合には、パレット３１の引出しが正常に行われたとし、次いで、パレット支持テーブル４１を動作完了位置である部品供給位置１３Ｋへ移動させる（ステップＳＴ５。図６（ｂ）中に示す矢印Ａ１）。制御装置７０はこの動作を、昇降モータ４２ｄを制御してパレット支持テーブル４１を上昇させることによって行う。このとき制御装置７０は、パレット支持テーブル４１を動作完了位置（部品供給位置１３Ｋ）に位置させるのに必要な規定の回転量だけ、昇降モータ４２ｄを回転させる。

制御装置７０は、ステップＳＴ５で、昇降モータ４２ｄを規定の回転量だけ回転させたら、パレット支持テーブル４１が、動作完了位置である部品供給位置１３Ｋに位置しているかどうかの判断を行う（ステップＳＴ６）。この判断は、パレット支持テーブル４１が部品供給位置１３Ｋに位置している状態がテーブル検出センサ４３によって検出されているか否かに基づいて行う。制御装置７０は、ステップＳＴ６において、パレット支持テーブル４１が部品供給位置１３Ｋに位置していると判断した場合には、パレット支持テーブル４１の部品供給位置１３Ｋへの移動が正常に行われたとして、パレットセット動作を終了する。

一方、制御装置７０は、ステップＳＴ４において、係止ロッド４４が動作完了位置（引出し完了位置）に位置していないと判断した場合には、部品実装装置１の動作を停止させるとともに、タッチパネル１７等を通じて、係止ロッド４４の動作制御系にエラーが発生している旨を作業者ＯＰに通知する（ステップＳＴ７）。ステップＳＴ４において、係止ロッド４４が引出し完了位置に位置しないケースとしては、パレット３１がマガジン２２内で引っ掛かって出てこない場合、パレット操作モータ４５が故障等により回転しなかった場合、ロッド移動機構４６に不具合が発生した場合等があり得る。

同様に、制御装置７０は、ステップＳＴ６において、パレット支持テーブル４１が部品供給位置１３Ｋに位置していないと判断した場合には、部品実装装置１の動作を停止させるとともに、タッチパネル１７等を通じて、パレット支持テーブル４１の動作制御系にエラーが発生している旨を作業者ＯＰに通知する（ステップＳＴ７）。ステップＳＴ６において、パレット支持テーブル４１が部品供給位置１３Ｋに位置しないケースとしては、昇降モータ４２ｄが故障等により回転しなかった場合や、昇降モータ４２ｄの回転を伝達する部材に不具合が発生した場合等があり得る。

次に、図１４のフローチャートに基づいて、部品供給位置１３Ｋに位置させていたパレット３１をトレイフィーダ１３の中の空いているパレット収納部２２Ｈ（通常は、そのパレット３１が収納されていた元のパレット収納部２２Ｈ）に収納させる動作（パレット収納動作）を第１の運転モードで実行する場合のトレイフィーダ１３の動作手順を説明する。

制御装置７０は、トレイフィーダ１３のパレット収納動作を第１の運転モードで行う場合には、先ず、昇降モータ４２ｄを制御し、テーブル移動用ボール螺子４２ｂを作動させることによって、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに移動させる（ステップＳＴ１１）。このとき制御装置７０は、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに位置させるのに必要な回転量だけ、昇降モータ４２ｄを回転させる。

制御装置７０は、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに移動させたら、パレット３１をパレット支持テーブル４１からパレット収納部２２Ｈに収納する（ステップＳＴ１２）。制御装置７０はこの動作を、パレット操作モータ４５を制御し、係止ロッド４４をパレット支持テーブル４１の後側に移動させることによって行う（図７（ａ）→図７（ｂ））。このとき制御装置７０は、係止ロッド４４を収納完了位置に位置させるのに必要な規定の回転量だけ、パレット操作モータ４５を回転させる。

制御装置７０は、ステップＳＴ１２で、パレット操作モータ４５を規定の回転量だけ回転させたら、係止ロッド４４が動作完了位置である収納完了位置に位置しているかどうかの判断を行う（ステップＳＴ１３）。この判断は、係止ロッド４４が動作完了位置（収納完了位置）に位置した状態が収納完了センサ４８によって検出されているか否かに基づいて行う。

制御装置７０は、ステップＳＴ１３において、係止ロッド４４が動作完了位置（収納完了位置）に位置していると判断した場合には、パレット３１の収納が正常に行われたとし、次いで、係止ロッド４４を元の位置（引出し完了位置）に戻す（ステップＳＴ１４）。制御装置７０はこの動作を、パレット操作モータ４５を制御して係止ロッド４４を動作完了位置（引出し完了位置）に移動させることによって行う。このとき制御装置７０は、係止ロッド４４を引出し完了位置に位置させるのに必要な規定の回転量だけ、パレット操作モータ４５を回転させる。

制御装置７０は、ステップＳＴ１４で、パレット操作モータ４５を規定の回転量だけさせたら、係止ロッド４４が、動作完了位置である引出し完了位置に位置しているかどうかの判断を行う（ステップＳＴ１５）。この判断は、係止ロッド４４が動作完了位置（引出し完了位置）に位置している状態が引出し完了センサ４７によって検出されているかどうかに基づいて行う。制御装置７０は、ステップＳＴ１５において、係止ロッド４４が動作完了位置（引出し完了位置）に位置していると判断した場合には、係止ロッド４４の戻し動作が正常に行われたとして、パレット収納動作を終了する。

一方、制御装置７０は、ステップＳＴ１３において、係止ロッド４４が収納完了位置に位置していないと判断した場合には、部品実装装置１の動作を停止させるとともに、タッチパネル１７等を通じて、係止ロッド４４の動作制御系にエラーが発生している旨を作業者ＯＰに通知する（ステップＳＴ１６）。また、制御装置７０は、ステップＳＴ１５において、係止ロッド４４が元の位置（引出し完了位置）に位置していないと判断した場合にも、部品実装装置１の動作を停止させるとともに、タッチパネル１７等を通じて、係止ロッド４４の動作制御系にエラーが発生している旨を作業者ＯＰに通知する（ステップＳＴ１６）。

なお、ステップＳＴ１３において、係止ロッド４４が収納完了位置に位置しないケースとしては、パレット３１がマガジン２２のパレット収納部２２Ｈの側面等に引っ掛かってパレット３１が収納されない場合、パレット操作モータ４５が故障等により回転しなかった場合、ロッド移動機構４６に不具合が発生した場合等があり得る。また、ステップＳＴ１５において、係止ロッド４４が引出し完了位置に位置しないケースとしては、パレット３１がマガジン２２内で引っ掛かって出てこない場合、パレット操作モータ４５が故障等により回転しなかった場合、ロッド移動機構４６に不具合が発生した場合等があり得る。

このように本実施の形態のトレイフィーダ１３は、アクチュエータ（昇降モータ４２ｄ、パレット操作モータ４５）によって変位する可動部（パレット支持テーブル４１、係止ロッド４４）を有する複数の可動部駆動機構を連携させながらパレットセット動作やパレット収納動作を行うようにしている。トレイフィーダ１３は、第１の運転モードの場合、一方の可動部駆動機構の動作が確実に行われたことを可動部検出部（テーブル検出センサ４３、引出し完了センサ４７、収納完了センサ４８）で検出した後、他の可動部駆動機構を作動させるようにしている。従って第１の運転モードでは、複数の可動部駆動機構の連携動作の信頼が非常に高い。

次に、図１５のフローチャートに基づいて、ノズル交換台１６において、閉位置に位置しているシャッタユニット６２を開位置に移動させる動作（開動作）を第１の運転モード（通常運転モード）で実行する場合のノズル交換台１６の動作手順を説明する。

制御装置７０は、シャッタユニット６２の開動作を第１の運転モードで行う場合には、先ず、シャッタユニット６２を開位置に移動させる動作を開始する（ステップＳＴ２１）。制御装置７０は、このシャッタユニット６２を開位置に移動させる動作を、切替えシリンダ６３のピストンロッド６３ａが、被係合部６２Ｋが切替えシリンダ６３側に引き寄せられる方向に作動するように切替えシリンダ６３のバルブ（図示せず）を作動させることによって行う。

制御装置７０は、シャッタユニット６２を開位置に移動させる動作を開始してから時間Ｔ１が経過するまで待つ（ステップＳＴ２２）。時間Ｔ１は、シャッタユニット６２が開位置に到達するまでの時間のバラツキを考慮し、シャッタユニット６２が開位置に確実に到達しているであろうと思われる時間に設定される。

制御装置７０は、ステップＳＴ２２で切替えシリンダ６３の動作完了待ちを行ったら、シャッタユニット６２が開位置に位置しているかどうかの判断を行う（ステップＳＴ２３）。この判断は、シャッタユニット６２が動作完了位置である開位置に位置している状態が切替え位置センサ６４によって検出されているかどうかに基づいて行う。

制御装置７０は、ステップＳＴ２３において、シャッタユニット６２が開位置に位置していると判断した場合には、シャッタユニット６２の開位置への移動が正常に行われたとして、シャッタユニット６２の開動作を終了する。また、シャッタユニット６２の開位置への移動が正常に行われたことが切替え位置センサ６４で確認されたら、ノズル５２が交換されるノズル取付け軸５１の上昇動作若しくは下降動作が開始される。一方、制御装置７０は、ステップＳＴ２３において、シャッタユニット６２が開位置に位置していないと判断した場合には、部品実装装置１の動作を停止させるとともに、タッチパネル１７等を通じて、シャッタユニット６２の動作制御系にエラーが発生している旨を作業者ＯＰに通知する（ステップＳＴ２４）。

次に、図１６のフローチャートに基づいて、ノズル交換台１６において、開位置に位置している状態のシャッタユニット６２を閉位置に移動させる動作（閉動作）を第１の運転モード（通常運転モード）で実行する場合の切替えシリンダ６３の動作手順を説明する。

制御装置７０は、シャッタユニット６２の閉動作を第１の運転モードで行う場合には、先ず、シャッタユニット６２を閉位置に移動させる動作を開始する（ステップＳＴ３１）。制御装置７０は、このシャッタユニット６２を閉位置に移動させる動作を、切替えシリンダ６３のピストンロッド６３ａが、被係合部６２Ｋが切替えシリンダ６３から離れる方向に作動するように切替えシリンダ６３のバルブを作動させることによって行う。

制御装置７０は、シャッタユニット６２を閉位置に移動させる動作を開始してから時間Ｔ２が経過するまで待つ（ステップＳＴ３２）。時間Ｔ２は、シャッタユニット６２が閉位置に到達するまでの時間のバラツキを考慮し、シャッタユニット６２が閉位置に確実に到達しているであろうと思われる時間に設定される。なお、時間Ｔ２は前述の時間Ｔ１と同じであってもよい。

制御装置７０は、ステップＳＴ３２で切替えシリンダ６３の動作完了待ち行ったら、シャッタユニット６２が閉位置に位置しているかどうかの判断を行う（ステップＳＴ３３）。この判断は、シャッタユニット６２が動作完了位置である閉位置に位置した状態が切替え位置センサ６４によって検出されているかどうかに基づいて行う。

制御装置７０は、ステップＳＴ３３において、シャッタユニット６２が閉位置に位置していると判断した場合には、シャッタユニット６２の閉位置への移動が正常に行われたとして、シャッタユニット６２の閉動作を終了する。また、シャッタユニット６２の閉位置への移動が正常に行われたことが切替え位置センサ６４で確認されたら、ノズル５２が交換されるノズル取付け軸５１の上昇動作若しくは下降動作が開始される。一方、制御装置７０は、ステップＳＴ３３において、シャッタユニット６２が閉位置に位置していないと判断した場合には、部品実装装置１の動作を停止させるとともに、タッチパネル１７等を通じて、シャッタユニット６２の動作制御系にエラーが発生している旨を作業者ＯＰに通知する（ステップＳＴ３４）。

このように本実施の形態の部品実装装置１は、アクチュエータ（切替えシリンダ６３）によって変位する可動部（シャッタユニット６２）を有する可動部駆動機構を備えている。そして、可動部駆動機構の動作完了を可動部検出部（切替え位置センサ６４）で検出するようになっている。このため、可動部（シャッタユニット６２）とノズル取付け軸５１の昇降動作との連携を安全かつ確実に行うことができる。

次に、図１７のフローチャートに基づいて、前述のパレットセット動作を第２の運転モード（縮退運転モード）で行う実行する場合のトレイフィーダ１３の動作手順を説明する。

制御装置７０は、トレイフィーダ１３のパレットセット動作を第２の運転モードで行う場合には、先ず、昇降モータ４２ｄを制御し、テーブル移動用ボール螺子４２ｂを作動させることによって、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに移動させる（ステップＳＴ４１）。このとき制御装置７０は、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに位置させるのに必要な回転量だけ、昇降モータ４２ｄを回転させる。

制御装置７０は、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに移動させたら、係止ロッド４４をパレット収納部２２Ｈ内のパレット３１に係止させる（ステップＳＴ４２）。制御装置７０はこの動作を、パレット操作モータ４５を制御し、係止ロッド４４をパレット支持テーブル４１の後側に移動させることによって行う。このとき制御装置７０は、係止ロッド４４を収納完了位置に位置させるのに必要な規定の回転量だけ、パレット操作モータ４５を回転させる。

制御装置７０は、係止ロッド４４をパレット収納部２２Ｈ内のパレット３１に係止させたら、パレット３１をパレット支持テーブル４１上に引き出す（ステップＳＴ４３。図６（ａ）中に示す矢印Ｂ１）。制御装置７０はこの動作を、パレット操作モータ４５を制御して係止ロッド４４をパレット支持テーブル４１の前側に移動させることによって行う。このとき制御装置７０は、係止ロッド４４を引出し完了位置に位置させるのに必要な規定の回転量だけ、パレット操作モータ４５を回転させる。

制御装置７０は、ステップＳＴ４３で、パレット操作モータ４５を規定の回転量だけ回転させたら、ステップＳＴ４３で行ったパレット操作モータ４５の回転時の回転量は正常であったかどうかを判断する（ステップＳＴ４４）。この判断は、例えば、パレット操作モータ４５が備えるエンコーダが出力しているパレット操作モータ４５の回転量が、係止ロッド４４を動作完了位置（引出し完了位置）に位置させるのに必要な規定の回転量と合致しているか否かに基づいて行う。

制御装置７０は、ステップＳＴ４４において、パレット操作モータ４５の回転量が正常であったと判断した場合には、パレット支持テーブル４１上にパレット３１が正常に引き出されたとみなし、次いで、パレット支持テーブル４１を動作完了位置である部品供給位置１３Ｋへ移動させる（ステップＳＴ４５。図６（ｂ）中に示す矢印Ａ１）。制御装置７０はこの動作を、昇降モータ４２ｄを制御してパレット支持テーブル４１を上昇させることによって行う。このとき制御装置７０は、パレット支持テーブル４１を動作完了位置（部品供給位置１３Ｋ）に位置させるのに必要な規定の回転量だけ、昇降モータ４２ｄを回転させる。

制御装置７０は、ステップＳＴ４５で、昇降モータ４２ｄを規定の回転量だけ回転させたら、ステップＳＴ４５で行った昇降モータ４２ｄの回転時の回転量は正常であったかどうかを判断する（ステップＳＴ４６）。この判断は、例えば、昇降モータ４２ｄが備えるエンコーダが出力している昇降モータ４２ｄの回転量が、パレット支持テーブル４１を動作完了位置（部品供給位置１３Ｋ）に位置させるのに必要な規定の回転量と合致しているか否かに基づいて行う。そして、制御装置７０は、ステップＳＴ４６において、昇降モータ４２ｄの回転量が正常であったと判断した場合には、パレット支持テーブル４１が部品供給位置１３Ｋに正常に位置したとみなして、パレットセット動作を終了する。

一方、制御装置７０は、ステップＳＴ４４において、パレット操作モータ４５の回転量が正常でなかったと判断した場合には、部品実装装置１の動作を停止させるとともに、タッチパネル１７等を通じて、係止ロッド４４の動作制御系にエラーが発生している旨を作業者ＯＰに通知する（ステップＳＴ４７）。なお、ステップＳＴ４４において、パレット操作モータ４５の回転量が正常とならないケースとしては、パレット３１がマガジン２２内で引っ掛かって出てこない場合、パレット操作モータ４５が故障等により回転しなかった場合、ロッド移動機構４６に不具合が発生した場合等があり得る。更には、パレット操作モータ４５のエンコーダに不具合が生じている場合や、エンコーダの取付け位置が不正確な場合等もあり得る。

また、制御装置７０は、ステップＳＴ４６において、昇降モータ４２ｄの回転量が正常でなかったと判断した場合には、部品実装装置１の動作を停止させるとともに、タッチパネル１７等を通じて、パレット支持テーブル４１の動作制御系にエラーが発生している旨を作業者ＯＰに通知する（ステップＳＴ４７）。なお、ステップＳＴ４６において、昇降モータ４２ｄの回転量が正常とならないケースとしては、昇降モータ４２ｄが故障等により回転しなかった場合や、昇降モータ４２ｄの回転を伝達する部材に不具合が発生した場合等があり得る。更には、昇降モータ４２ｄのエンコーダに不具合が生じている場合や、エンコーダの取付け位置が不正確な場合等もあり得る。

次に、図１８のフローチャートに基づいて、前述のパレット収納動作を第２の運転モード（縮退運転モード）で実行する場合のトレイフィーダ１３の動作手順を説明する。

制御装置７０は、トレイフィーダ１３のパレット収納動作を第２の運転モードで行う場合には、先ず、昇降モータ４２ｄを制御し、テーブル移動用ボール螺子４２ｂを作動させることによって、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに移動させる（ステップＳＴ５１）。このとき制御装置７０は、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに位置させるのに必要な回転量だけ、昇降モータ４２ｄを回転させる。

制御装置７０は、パレット支持テーブル４１を目的とするパレット収納部２２Ｈの高さに移動させたら、パレット３１をパレット支持テーブル４１からパレット収納部２２Ｈに収納する（ステップＳＴ５２）。制御装置７０はこの動作を、パレット操作モータ４５を制御し、係止ロッド４４をパレット支持テーブル４１の後側に移動させることによって行う（図７（ａ）→図７（ｂ））。このとき制御装置７０は、係止ロッド４４を収納完了位置に位置させるのに必要な規定の回転量だけ、パレット操作モータ４５を回転させる。

制御装置７０は、ステップＳＴ５２で、パレット操作モータ４５を規定の回転量だけ回転させたら、ステップＳＴ５２で行ったパレット操作モータ４５の回転時の回転量は正常であったかどうかを判断する（ステップＳＴ５３）。この判断は、例えば、パレット操作モータ４５が備えるエンコーダが出力しているパレット操作モータ４５の回転量が、係止ロッド４４を動作完了位置（収納完了位置）に位置させるのに必要な規定の回転量と合致しているか否かに基づいて行う。

制御装置７０は、ステップＳＴ５３において、パレット操作モータ４５の回転量が正常であったと判断した場合には、パレット３１が正常に収納されたとし、次いで、係止ロッド４４を元の位置（引出し完了位置）に戻す（ステップＳＴ５４）。制御装置７０はこの動作を、パレット操作モータ４５を制御し、係止ロッド４４をパレット支持テーブル４１の前側に移動させることによって行う。このとき制御装置７０は、係止ロッド４４を引出し完了位置に位置させるのに必要な規定の回転量だけ、パレット操作モータ４５を回転させる。

制御装置７０は、ステップＳＴ５４で、パレット操作モータ４５を規定の回転量だけ回転させたら、ステップＳＴ５４で行ったパレット操作モータ４５の回転量が正常であったかどうかを判断する（ステップＳＴ５５）。この判断は、例えば、パレット操作モータ４５が備えるエンコーダが出力しているパレット操作モータ４５の回転量が、係止ロッド４４を動作完了位置（引出し完了位置）に位置させるのに必要な規定の回転量と合致しているかどうかに基づいて行う。そして、制御装置７０は、ステップＳＴ５５において、パレット操作モータ４５の回転量が正常であったと判断した場合には、係止ロッド４４が正常に戻されたとして、パレット収納動作を終了する。

一方、制御装置７０は、ステップＳＴ５３において、パレット操作モータ４５の回転量が正常でなかったと判断した場合には、部品実装装置１の動作を停止させるとともに、タッチパネル１７等を通じて、係止ロッド４４の動作制御系にエラーが発生している旨を作業者ＯＰに通知する（ステップＳＴ５６）。なお、ステップＳＴ５３において、係止ロッド４４が収納完了位置に位置しないケースとしては、パレット３１がマガジン２２のパレット収納部２２Ｈの側面等に引っ掛かってパレット３１が収納されない場合、パレット操作モータ４５が故障等により回転しなかった場合、ロッド移動機構４６に不具合が発生した場合等があり得る。更には、パレット操作モータ４５のエンコーダに不具合が生じている場合や、エンコーダの取付け位置が不正確な場合等もあり得る。

また、制御装置７０は、ステップＳＴ５５において、パレット操作モータ４５の回転量が正常でなかったと判断した場合には、部品実装装置１の動作を停止させるとともに、タッチパネル１７等を通じて、係止ロッド４４の動作制御系にエラーが発生している旨を作業者ＯＰに通知する（ステップＳＴ５６）。なお、ステップＳＴ５５において、パレット操作モータ４５の回転量が正常とならないケースとしては、パレット３１がマガジン２２内で引っ掛かって出てこない場合、パレット操作モータ４５が故障等により回転しなかった場合、ロッド移動機構４６に不具合が発生した場合等があり得る。更には、パレット操作モータ４５のエンコーダに不具合が生じている場合や、エンコーダの取付け位置が不正確な場合等もあり得る。

このように、トレイフィーダ１３におけるパレット支持テーブル４１の運転モードが第２の運転モードに設定されている状態では、可動部検出部（テーブル検出センサ４３）による検出結果を無視して（若しくは参照することなく）、アクチュエータ（昇降モータ４２ｄ）の動作完了を判断するようになっている。また、トレイフィーダ１３における係止ロッド４４の運転モードが第２の運転モードに設定されている状態では、可動部検出部（引出し完了センサ４７および収納完了センサ４８）による検出結果を無視して（若しくは参照することなく）、アクチュエータ（パレット操作モータ４５）の動作完了を判断するようになっている。

すなわち、トレイフィーダ１３において可動部（パレット支持テーブル４１、係止ロッド４４）を検出する可動部検出部（テーブル検出センサ４３、引出し完了センサ４７、収納完了センサ４８）に何らかの不具合が生じて第１の運転モードでの運転が困難な場合は、緊急的に第２の運転モードで運転が可能なように構成されている。

次に、図１９のフローチャートに基づいて、ノズル交換台１６において、前述の開動作を第２の運転モード（縮退運転モード）で実行する場合のノズル交換台１６の動作手順を説明する。

制御装置７０は、シャッタユニット６２の開動作を第２の運転モードで行う場合には、先ず、シャッタユニット６２を開位置に移動させる動作を開始する（ステップＳＴ６１）。制御装置７０は、このシャッタユニット６２を開位置に移動させる動作を、切替えシリンダ６３のピストンロッド６３ａが、被係合部６２Ｋが切替えシリンダ６３側に引き寄せられる方向に作動するように切替えシリンダ６３のバルブ（図示せず）を作動させることによって行う。

制御装置７０は、シャッタユニット６２を開位置に移動させる動作を開始してから時間ＤＴ１が結果するまで待つ（ステップＳＴ６２）。時間ＤＴ１は、シャッタユニット６２が開位置に到達するまでの時間のバラツキを考慮し、シャッタユニット６２が開位置に確実に到達しているであろうと思われる時間に設定される。

ここで、上記縮退運転時対応の規定の時間「ＤＴ１」は、例えば、通常運転時に設定される規定の時間「Ｔ１」よりも長く設定される。本実施の形態では時間「Ｔ１」の２倍である時間「２×Ｔ１」とする。時間「ＤＴ１」が経過した時点で、シャッタユニット６２が開位置に位置したとみなして、シャッタユニット６２の開動作を終了する。また、ステップＳＴ６２で時間ＤＴ１が経過したら、ノズル５２が交換されるノズル取付け軸５１の上昇動作若しくは下降動作が開始される。

次に、図２０のフローチャートに基づいて、ノズル交換台１６において、前述の閉動作を第２の運転モード（縮退運転モード）で実行する場合のノズル交換台１６の動作手順を説明する。

制御装置７０は、シャッタユニット６２の閉動作を第２の運転モードで行う場合には、先ず、シャッタユニット６２を閉位置に移動させる動作を開始する（ステップＳＴ７１）。制御装置７０は、このシャッタユニット６２を閉位置に移動させる動作を、切替えシリンダ６３のピストンロッド６３ａが、被係合部６２Ｋが切替えシリンダ６３から離れる方向に作動するように切替えシリンダ６３のバルブ（図示せず）を作動させることによって行う。

制御装置７０は、シャッタユニット６２を閉位置に移動させる動作を開始してから時間ＤＴ２が経過するまで待つ（ステップＳＴ７２）。時間ＤＴ２は、シャッタユニット６２が閉位置に到達するまでの時間のバラツキを考慮し、シャッタユニット６２が閉位置に確実に到達しているであろうと思われる時間に設定される。

ここで、上記縮退運転時対応の規定の時間「ＤＴ２」は、例えば、通常運転時に設定される規定の時間「Ｔ２」よりも長く設定される。本実施の形態では時間「Ｔ２」の２倍である時間「２×Ｔ２」とする。時間「ＤＴ２」が経過した時点で、シャッタユニット６２が閉位置に位置したとみなして、シャッタユニット６２の閉動作を終了する。また、ステップＳＴ７２で時間ＤＴ２が経過したら、ノズル５２が交換されるノズル取付け軸５１の上昇動作若しくは下降動作が開始される。

このように、ノズル交換台１６におけるシャッタユニット６２の運転モードが第２の運転モードに設定されている状態では、可動部検出部（切替え位置センサ６４）による検出結果を無視して（若しくは参照することなく）、アクチュエータ（切替えシリンダ６３）の動作完了を判断するようになっている。すなわち、切替え位置センサ６４に何らかの不具合が生じて第１の運転モードでの運転が困難な場合は、緊急的に第２の運転モードで運転が可能なように構成されている。

なお、運転モードの切替えは、センサ監視部７１を通じて或るセンサ（可動部検出部）について動作の異常が認められる場合、そのセンサを含むユニットや装置全体のアクチュエータの運転モードを第２の運転モードに切り替える場合と、異常があることが通知されたセンサに直接関係する可動部駆動機構についてのみ第２の運転モードに切り替える場合の２通りの方法が考えられる。前述のトレイフィーダ１３は前者の場合であって、トレイフィーダ１３全体を第２の運転モードに切り替えるものであるが、故障を起こした可動部検出部に直接関係する可動部駆動機構についてのみその動作を第２の運転モードに切り替えるようにしてもよい。

また、通知部としてのタッチパネル１７に、設定されている運転モードが表示されるようになっていることが好ましい。特に、運転モードが第１の運転モードから第２の運転モードに切り替えられた場合には、どの機構部のどの可動部の動作が第２の運転モードで制御されているかが表示されるようになっていることが好ましい。これにより作業者ＯＰは、どの可動部が第２の運転モードで制御されているのかを的確に把握でき、故障等の疑いのあるセンサを早急に修理し、或いは交換等する対策を講じることができる。

以上説明したように、本実施の形態における産業用機械装置としての部品実装装置１は、アクチュエータによって変位する可動部（昇降モータ４２ｄによって変位するパレット支持テーブル４１、パレット操作モータ４５によって変位する係止ロッド４４および切替えシリンダ６３によって変位するシャッタユニット６２）と、アクチュエータによって可動部が動作完了位置に変位したことを検出する可動部検出部（テーブル検出センサ４３、引出し完了センサ４７、収納完了センサ４８および位置切替えセンサ６４）と、アクチュエータを制御する制御部としての制御装置７０を備えている。そして、制御装置７０は、可動部検出部が可動部を検出することによってアクチュエータの動作完了を判断する第１の運転モードと、可動部検出部による検出結果を無視して（若しくは参照することなく）アクチュエータの動作完了を判断する第２の運転モードのいずれかで制御を行うようになっている。このため、可動部検出部が正常に動作している通常運転時には第１の運転モードで運転し、可動部検出部が故障等により正常に動作しなくなった場合には第２の運転モードに切り替えるようにすることで、可動部検出部により可動部が動作完了位置に変位した状態を検出することができなくなった場合であっても部品実装装置１の運転を継続でき、生産性の低下を防ぐことができる。

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されず、種々の変形等が可能である。例えば、第１の運転モードのほか、第２の運転モードでも制御できるアクチュエータの例として、トレイフィーダ１３のパレット支持テーブル４１を昇降させる昇降モータ４２ｄ、トレイフィーダ１３の係止ロッド４４を移動させるパレット操作モータ４５およびノズル交換台１６のシャッタユニット６２を位置切替えする切替えシリンダ６３を挙げたが、これらは一例に過ぎず、部品実装装置１が備える他のアクチュエータについても適用することが可能である。

また、上述の実施の形態では、本発明が適用される産業用機械装置の例として部品実装装置１を挙げたが、本発明は部品実装装置１に限られず、アクチュエータによって変位する可動部と、アクチュエータによって可動部が動作完了位置に変位したことを検出する可動部検出部とを備えて構成されるあらゆる産業用機械装置に適用することができる。

【産業上の利用可能性】

【0116】

【符号の説明】

【0117】

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】